WAT 參數漂移根因
- 類型
- 示範專案
- 專案
- 半導體示範專案
- 產業
- 半導體
示範專案的情境與數字是模擬資料。
- 產業
- 半導體（晶圓代工）
- 交付形式
- Agent、skill、語意模型與寫入工具，建在示範資料上
- 知識來源
- 爐管供應商的服務通告，以及 ERP、MES、EQP、光罩、YMS 系統的示範資料
週報看不到的共同點
- 良率週會前，YMS 週報顯示一個產品的 WAT 參數 VTH_SHIFT 連續幾批 margin 收斂，還沒超出規格。
- YMS 週報只顯示參數在漂移，看不出漂移批的共同點。
跨系統的語意模型
- 這個示範專案為 ERP、MES、EQP、光罩、YMS 和資料倉儲建了語意模型。資料倉儲的語意模型涵蓋這些系統的資料。
- Agent 用資料倉儲的語意模型掃 YMS，列出 margin 低於 15% 的批次，確認 VTH_SHIFT 的收斂趨勢。
- Agent 把漂移批與正常批的批次履歷和機台對起來。漂移批都經過同一座爐管，正常批走其他爐管。
- Agent 查 EQP 的 PM 紀錄，發現這座爐管的 PM 已經逾期。
- 爐管供應商的服務通告放在 Drive。Agent 讀通告，確認爐管超過 PM 週期運轉會造成溫場漂移，對應 VTH_SHIFT 的症狀。
- 主管在 Mimir 問漂移批的共同機台。Agent 回覆 WAT margin 趨勢與漂移批機台共性的報表。
處置與核准
- Agent 用 PM 合規與停機衝擊的 skill 評估提前 PM。停機期間在製品改走其他爐管，產能可以吸收。
- hold 漂移批、爐管提前 PM、向客戶說明處置，寫回 YMS、EQP、ERP 之前，Agent 都先停下來等人核准。